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常見光刻機英文問答
延伸文章資訊可以分为两种,分别是模板与图样大小一致的contact aligner,曝光时 ...光刻機- 維基百科,自由的百科全書- Wikipedia光刻機(英語:Mask Aligner)是製造微機電...
光刻機(Mask Aligner) 又名:掩模對準曝光機,曝光系統,光刻系統等。常用的光刻機是掩膜對準光刻,所以叫Mask Alignment System. 一般的光刻工藝要經歷矽片表面清洗 ...
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